对于可燃气体传感器为有害的气体是含硅化合物，比如：硅烷、硅树脂、和硅酸盐。几个ppm的这类物质就可以明显地降低传感器的性能。而这类化合物的使用范围又极广，包括润滑油、清洗剂、磨光剂、粘合剂、化妆品和药物霜剂、硅胶(密封条和密封剂)，另外的有害物质包括含铅类化合物，比如含四乙基铅的汽油就会严重降低传感器的灵敏度，特别对高燃点的化合物的灵敏度，比如甲烷。
另外，高浓度的卤代烃会在催化头的高热情况下分解为HCl，可能会造成传感器的腐蚀降低测量信号。硫化氢和其他还原性硫化合物，像二硫化碳、二甲基二硫醚、三甲基二硫醚，以及磷脂、硝基化合物(比如硝基烷烃)都可以被氧化成为矿物酸，也会对传感器造成腐蚀。热的酸(比如乙酸)或直接暴露于酸性气体(比如HCl，硫酸蒸气)也可能腐蚀传感器。
卤代烃存在于各类脱脂剂和清洗剂的溶剂之中。这类可怕的卤代烃同样可以通过聚合物的过热、PVC焊条中释放出来。所有这些提及到物质都会对催化头产生不利的影响。通常情况下，硅类化合物被看成是毒化物质而硫化氢被看成抑制物质。然而，上面提到的物质都会对催化燃烧传感器有不同程度的灵敏度降低。有些化合物可能在催化头不断增加的温度下发生反应，这些引起传感器中毒的机理就更加复杂。
可燃气体传感器预防中毒措施有哪些?
1、减少在环境毒气中的暴露时间，在不用时关闭仪器
2、在有毒环境中减少气体流量或者使用扩散式仪器
3、为让传感器用更长时间，一定要特别注意尽量减少传感器或仪器暴露于以上有毒气体之中。
4、严格遵循下面的安装和维修指南
5、一直使用仪器传感器前面的过滤器，并且每周更换一次或者在暴露于毒气之后立即更换。
6、在暴露于强毒气体之后，清洗采样泵，更换气路和垫圈。